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Caractérisation de la réaction interfaciale entre une couche mince de tungstène et un substrat d'acier

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par Mourad Khechba
Université de Constantine - Magister 2008
  

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I.3. Mécanisme de formation d'une couche mince:

On peut résumer le processus de croissance d'une couche mince en disant que c'est une suite statistique de nucléation, puis une croissance par diffusion de surface et formation d'Ilots, puis une formation d'Iles de plus grandes dimensions, et enfin la formation d'une couche continue par remplissage de espèces entre ces Iles. Selon les paramètres thermodynamiques du dépôt et de la surface du substrat, les étapes de nucléation et de croissance d'Ilots peuvent être décrites comme étant [24] :

Du type Iles (appelé Volmer-Weber).

Du type couche (appelé Frank-van der Merwe).

Du type mixte (appelé Stranski-Krastanov).

Figure I.9 : Les trois modes de croissance d'une couche mince, I) Volmer-Weber,

II) Frank-van der Merwe, III) Stranski-Krastanov [25].

 

Généralité et contexte bibliographique.

La figure I.9 présente les trois types de formation d'une couche mince. Dans la quasitotalité des cas pratiques, la croissance de la couche se fait par formation d'îlots, puis d'îles, puis d'une surface continue. Sauf dans les cas des conditions spéciales de dépôts (température du substrat, nature et énergie des espèces incidentes, nature chimique du substrat, caractéristique

topographiques des îlots sont distribués d'une façon aléatoire. Ceci signifie que, lorsque ces îlots vont se rencontrer au cours du processus de croissance, des joints de grains et des défauts (dislocations diverses ) vont être inclus dans la couche à la suite des désaccords de configuration géométrique et d'orientation cristallographique [26].

I.4. Propriétés spécifiques aux couches minces:

Les propriétés de la matière en couches minces peuventêtre intrinsèquement différentes. Cela peut être lié à la microstructure du matériau, à à la géométrie elle même du compose (effets de taille) [27] :

Effets des contraintes : pour les couches en heter

suffisamment fine, le film est contraint (de part la différence de paramètre de maille entre

à la structure cristallographique. Ce

couplage entre la structure et les propriétés physiques est important.

effets de taille : par le terme (effets de taille), on entend les effets physiques liesà la géométrie du matériau. Dans des structures avec au moins une dimension inférieure a une longueur caractéristique (comme le libre parcours moyen desélectrons, la distance tunnel ou les longueurs de corrélation magnétique), on observe des effets originaux. Par exemple, les effets de confinem

électronique, modifient radicalement les niveaux d'énergie et les propriétés radiatives du
matériau. On peut aussi citer le cas des phénomènes de transport dépendant du spin. Ils

inférieure au libre parcours moyen électronique. Schématiquement, cela revient à dire

magnétique.

 

Généralité et contexte bibliographique.

: souvent

différente de la structure dans le massif. La modification de la coordination des atomes, la présence de liaisons pendantes, ainsi que les interactions électrostatiques entre le

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