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Etude des nano-cavités en vue de la réalisation des matériaux alternatifs à base de semi-conducteurs

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par Armand FOPAH LELE
Université de Yaoundé 1 - D.E.A en Physique option Sciences des Matériaux 2009
  

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3.1.3 Comparaison des deux mécanismes de croissance

A partir des lois de croissance des rayons des bulles en fonction des temps de recuit, Schroeder et al [11] ont montré que les mécanismes de croissance par migration coalescence et par Oswald Ripening présentent des invariants qui permettent de les différencier. Ils ont spécialement utilisé les dérivées logarithmiques d ln r

d ln t pour la comparaison avec des modèles de croissance parce que celles-ci sont indépendantes de la valeur absolue des diverses propriétés du matériau, qui ne sont précisément pas connues.

Cependant, il peut être très difficile ou impossible d'identifier le mécanisme de croissance opérant car les résultats expérimentaux sont parfois différents des théories prédites.

Pour clarifier ce problème et avoir une meilleure compréhension de la question : quel mécanisme gouverne la croissance et dans quelles conditions? Des auteurs ont essayé des approches différentes en choisissant les paramètres expérimentaux de façon à tester les invariances spécifiques de MC et OR.

Dans le cas de la migration coalescence, pour une température de recuit donnée, le rayon moyen des nano-cavités ne change pas si le produit de la concentration d'hélium implanté CHe par le temps de recuit ta reste constant. Par contre dans le cas de l'Oswald Ripening, pour un temps de recuit donné, le rayon moyen des nano-cavités ne dépend pas de la concentration d'hélium implanté CHe, tandis que le mécanisme de migration coalescence conduit à une augmentation du rayon avec CHe.

Dans les métaux, les études faites sur la croissance thermique des nano-cavités d'hélium ont montré que les deux mécanismes de croissance (OR et MC) peuvent coexister[3, 13]. Les conditions de traitement des échantillons et le profil de la couche de nano-cavités (densité, rayon des nano-cavités,..) ainsi que la profondeur d'implantation sont des paramètres qu'il faut considérer pour pouvoir déterminer par quel mécanisme la croissance s'opère.

FIGURE 3.5: Représentation des invariances du rayon moyen des nano-cavités/bulles en fonction de la concentration d'hélium pour les différents mécanismes de croissance, MC et OR

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