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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 1 : Matériau TiO2

Des matériaux pouvant travailler dans le visible sont plus souhaitables en termes d'utilisation de la lumière naturelle. En effet, seulement 5% de la lumière solaire est utilisée dans le cas de l'anatase [b]. Pour cette raison, le dopage de TiO2 anatase a été étudié pour déplacer son gap dans le visible.

Grâce au dopage, on peut translater la bande d'absorption d'une couche mince et dans notre cas on peut exploiter le domaine visible de la lumière pour des applications photovoltaïques ou photocatalytiques.

Il a été montré que le dopage par différents métaux de transition comme V, Cr, Mn, Fe et Ni, permet un décalage vers le visible de la bande d'absorption du TiO2. Ce décalage dépend de la quantité de dopant introduite. L'efficacité dans le décalage varie comme suit : V>Cr>Mn>Fe>Ni. Ceci permet d'utiliser la lumière solaire plus efficacement et ce jusqu'à 20% à 30% de mieux [45,46].

Les propriétés structurales, optiques et électriques de TiO2 sont présentées dans le tableau 1.1 [47].

Tab. 1. 1 Propriétés physiques de TiO2

Phase

Rutile

Anatase

Brookite

Propriété

// à l'axe c

// à l'axe c

? à l'axe c

? à l'axe c

// à l'axe a/b // à l'axe c

Structure

Quadratique

Quadratique

Orthorhombique

Groupe d'espace

P42/mnm (136)

c = 2.954Å a=b=4,587 Å

I41/amd (141)

c = 9.502 Å a=b=3,782 Å

Pcab

a=5.46 Å b=9.18 Å c=5.14 Å

Le plan réticulaire le plus
stable

(110)

(101)

 

Densité

4.25g/cm3

3.89g/cm3

4.12g/cm3

Prop élect
(non dopé)

Réactive
non réactive

Semi conducteur type N
Instable (isolant/N--/P--)

Semi conducteur type N
Instable (isolant/N/P)

 

Constante diélectrique
statique å0 (MHz range)

173 89

48 31

78

Indice de réfraction pour
(ë = 600 nm)

2.89 2.6

2.5 2.55

2.57 2.69

Energie de gap à 10 K [eV]

3.051 3.035

3.46 3.42

3.14

Mobilité électrique
[cm2/Vs]

Crystal : 0.1-10
Couche mince : 0.1

Crystal : 15-550
Couche mince : 0.1-4

 

Masse effective de
l'électron

9 -13me

10 - 30me
12 - 32me

~1me

 

ENIT 2009 11

Chapitre 1 : Matériau TiO2

1.5 Applications

Le dioxyde de titane, dont l'abondance relative représente 0,44% [c] de l'écorce terrestre est bon marché, biocompatible, chimiquement inerte, donc très stable et non toxique. On peut l'utiliser soit sous forme de poudre dans l'eau (destruction de polluants, pesticides, colorants) avec séparation et recyclage en fin de traitement, soit sous forme déposée sur support (fibres de verre, tissus, plaques). Grâce à ces propriétés, ce matériau semble particulièrement attractif.

Ainsi, la recherche dans divers domaines est consacrée à l'oxyde de titane sous diverses formes tel que cristal simple, céramique et couche mince.

1.5.1 Biocompatibilité du TiO2

Le TiO2 présente également une bonne résistance à la corrosion et une biocompatibilité qui conduisent à l'utiliser comme revêtement d'implants chirurgicaux [48]. Il constitue le principal revêtement des prothèses osseuses. Il a été utilisé même dans le traitement du cancer (destruction de cellules tumorales et désinfection en raison de ses propriétés bactéricides : TiO2/UV). En fait, le titane est utilisé avec succès comme matériel d'implant pour des applications dentales, orthopédiques, ostéosynthèses et son oxyde natal est généralement constitué du dioxyde de titane. Il est utilisé aussi bien dans l'alimentaire et la pharmacie (additif).

Le TiO2 a aussi un pouvoir dispersant très important pour les pigments. Par exemple, avec de l'oxyde de titane, on disperse 60% de TiO2 dans de l'huile de ricin. Cette propriété peut aussi bien s'appliquer aux filtres UV physiques dans les produits solaires.

Il est donc abondamment utilisé dans le domaine des cosmétiques : écrans solaires (utilisation de particules très fines : de 15 à 50 nm), crèmes de soins, laits corporels, produits capillaires, huiles pour le corps, huiles pour cheveux, produits de maquillage, rouge à lèvres etc) [c]. La poudre de TiO2 est aussi utilisée en dentifrice et savons.

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"Un démenti, si pauvre qu'il soit, rassure les sots et déroute les incrédules"   Talleyrand