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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Introduction générale

Le dioxyde de titane représente un marché mondial d'environ 4,5 millions de tonnes par an. C'est, en particulier, le pigment blanc le plus utilisé en raison de son indice de réfraction élevé. Le marché se divise en trois gros secteurs qui sont les pigments de peinture de l'ordre de 60%, les charges de plastique 20% et de papier 20%. A côté de ces tonnages très importants, à faibles marges, il existe des applications à forte valeur ajoutée dont le tonnage ne représente que quelques pour cents. En effet, le dioxyde de titane est un matériau bon marché, chimiquement stable et non toxique. Il est très largement utilisé dans de nombreux domaines de haute technologie du fait de ses propriétés remarquables. Grâce à son coefficient de réfraction élevé, il est utilisé dans l'industrie photovoltaïque ou comme pigment pour le papier glacé. Sa constante diélectrique élevée en a fait un candidat potentiel pour le remplacement de SiO2 dans les dispositifs MOSFET. En tant que semi-conducteur de type n, sa conductivité est modifiée par adsorption d'un gaz, ce qui en fait un capteur de gaz efficace. De plus, il possède une activité photocatalytique reconnue, utilisée pour les vitres autonettoyantes par exemple. Il présente également une bonne résistance à la corrosion et une biocompatibilité qui conduisent à l'utiliser comme revêtement d'implants chirurgicaux. D'autres applications concernent les domaines de l'électronique (batteries au lithium, systèmes électrochromes...), de l'environnement (photocatalyse), de la catalyse, des cosmétiques (filtre UV), de la pharmacie (additif) et de la médecine (prothèses osseuses, destruction de cellules tumorales et désinfection en raison de ses propriétés bactéricides : TiO2/UV).

Durant ces quinze dernières années, les thématiques associées aux problèmes de protection de l'environnement, qui ont pour objectifs la purification de l'air, la dépollution de l'eau et les matériaux autonettoyants à travers la photocatalyse, ou la recherche de semi-conducteurs pour cellules photovoltaïques font l'objet d'une grande activité de recherche tant sur le plan fondamental qu'appliqué et suscitent un engouement croissant auprès de la communauté scientifique. Comparativement à d'autres semi-conducteurs, le TiO2 présente en effet une bonne stabilité thermique et un prix de revient raisonnable. Huit variétés allotropiques de dioxyde de titane, sont actuellement répertoriées. Par contre, les propriétés électrique, morphologique, structurale, et optique de TiO2 sont instables et c'est un modeste semi-conducteur ou un médiocre isolant selon le point de vue. Par exemple, pour de nombreuses applications, il serait intéressant de le rendre soit plus isolant, soit plus conducteur.

La technique de dépôt utilisée pour préparer nos couches minces de TiO2 est la pulvérisation cathodique. Cette méthode complexe nécessite l'optimisation d'un nombre

ENIT 2009 1

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