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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 1 : Matériau TiO2

des arêtes et/ou des sommets. Pour le polymorphe baddeleyite, le titane est trouvé en coordinence sept comme dans les structures de l'oxyde ZrO2 [16].

Fig. 1. 1 L'agencement des octaèdres des variétés des oxydes de titane

Jusqu'à maintenant et selon nos connaissances, seulement le rutile, l'anatase et le brookite ont été produit par pulvérisation cathodique, processus utilisé pour préparer nos échantillons.

1.2.1 Phase rutile

La forme utilisée dans les différents usages industriels est presque toujours la forme rutile et par suite elle est la structure la plus commune et la plus étudiée. C'est la forme la plus dense de TiO2 (de 4,20 à 5,60), stable à des températures supérieures à 850°C, ainsi qu'à hautes pressions [25].

Fig. 1. 2 Maille élémentaire de TiO2 rutile

(Ti , O )

La maille élémentaire de la phase rutile est quadratique (Fig.1.2). Les paramètres de maille mesurés par diffraction de neutrons à 15 °K sont les suivants : a = b = 4,587 Å, c = 2,954 Å, paramètre interne x = 0,305 et c / a = 0,644 [22].

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