I.3.2. Choix d'un TCO
Les oxydes ont cependant une limite supérieure de
conductivité ó et de transmission á,
déterminée par la théorie de transport des
électrons dans un métal.
oú å0 est la permittivité du vide, c la
vitesse de la lumière, n l'indice de réfraction de film, m* la
masse effective des électrons de conduction, ì la
mobilité, ë la longueur d'onde et e la charge électronique.
Puisque les TCO ont des indices proches de 2 dans le visible, le meilleur TCO
présentera le plus grand produit de mobilité et de masse
effective. Par ailleurs, dans de nombreuses applications, et en particulier
dans les systèmes d'affichage, il est souhaitable et nécessaire
que le film ait une épaisseur minimale afin de conserver une surface
aussi lisse que possible. Le paramètre important devient alors la
conductivité, c'est à dire le produit de la mobilité par
la concentration de porteurs. Cependant, en accroissant le nombre de dopants,
ces derniers se comportent alors comme des défauts neutres qui limitent
la mobilité. En comparant les TCO, on constate une concentration
d'électrons rangée dans l'ordre suivant :
ZnO :F<SnO2:F<ZnO:Al<In2O3:Sn
Enfin un paramètre important dans le choix d'un TCO,
selon son utilisation, est la température minimale de déposition.
Sur ce point précis, on constate une fois de plus que ITO et Ag sont les
plus adaptés à des dépôts sur substrat sensible
(comme les organiques).
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