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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

3/2 pour les transitions directes interdites. 2 pour les transitions indirectes permises.

pour les transitions indirectes interdites.

En général pour le dioxyde de titane q est égal à 1/2, ce qui correspond à des transitions directes permises. D'où, nous allons considérer que les transitions directes permises.

3.5.2 Couches élaborées sur des substrats de verre 3.5.2.1 Spectres de transmission, d'absorption et de réflexion ? Spectres de transmission

La Figure 3.16 montre le spectre de transmission des couches minces de dioxyde de titane déposées sur des substrats de verre à température ambiante, 100, 200 et 300 °C pour le domaine spectral variant de 300 nm (UVB) jusqu'à 1800 nm (PIR).

Amb 100°C 200°C 300°C

Fig. 3. 16 Spectres de transmission en fonction de A des couches de TiO2/Verre

Sur ce spectre, on observe deux régions bien distinctes :

- Une région où l'absorption devient de plus en plus grande (cf. Fig 3.16), ce qui se traduit par un amortissement progressif des franges d'interférences et une forte décroissance de la transmission.

ENIT 2009 66

Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

- Une région présentant des franges d'interférences où les extrema gardent des valeurs sensiblement constantes (région de transparence) dont l'exploitation nous permet de déterminer à la fois l'indice de réfraction de la couche et son épaisseur.

La présence des oscillations d'interférences indiquent une bonne homogénéité des couches élaborées.

En augmentant la température jusqu'à 200 °C, la transmission des couches augmente ensuite elle diminue pour une température de 300 °C.

A 200 °C, les couches présentent la meilleure homogénéité ce qui est en accord avec les résultats données par les analyses de diffraction des rayons X. En effet, la couche la plus cristallisée a été observé à cette température comme indiqué par les analyses structurales. Le maximum de transmission (77%) est obtenu aussi à température de substrat de 200 °C. Ces couches sont transparentes dans tout le domaine visible et infrarouge et on peut les classer comme couches non absorbantes. Ces couches sont intéressantes comme étant couches antireflet.

? Spectres d'absorption

La figure 3.17 montre l'effet de l'échauffement des substrats sur l'absorption des couches.

Amb
100°C
200°C

300°C

Fig. 3. 17 Spectres d'absorption en fonction de A des couches de TiO2/Verre

ENIT 2009 67

Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

On note dans la zone de forte absorption une amélioration du front d'absorption accompagnée d'un petit décalage vers le visible en particulier pour les hautes températures de substrat (200 et 300°C). Mais la zone de photoactivité des couches de TiO2 reste toujours l'ultra-violet proche visible (UVB et UVC et une partie du bleu de visible) conformément à la bibliographie (pragr. 1.4).

? Spectres de réflexion

Les spectres de réflexion schématisés à la figure 3.18 présentent des oscillations caractéristiques du phénomène d'interférence indiquant une homogénéité des couches.

Amb 100°C 200°C 300°C

Fig. 3. 18 Spectre de réflexion en fonction de A des couches de TiO2/Verre

Ces spectres montrent également une augmentation des taux de réflexion sauf pour la température de substrat de 300°C. On remarque que les couches deviennent très absorbantes et moins réfléchissantes.

Ces dernières couches combinent deux propriétés importantes pour la fabrication des couches doubles fonctions dans le domaine photovoltaïque : d'une part, elles représentent un revêtement antireflet qui résiste à la corrosion et joue au même temps le rôle d'une couche protectrice pour les cellules solaires et d'autre part elles représentent le semi-conducteur type N côté soleil de la jonction P-N des cellules solaires.

ENIT 2009 68

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"Les esprits médiocres condamnent d'ordinaire tout ce qui passe leur portée"   François de la Rochefoucauld