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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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3.5.1.2 Détermination de l'épaisseur de la couche d

En restant toujours dans les mêmes conditions que précédemment et après avoir déterminé l'indice de réfraction, l'épaisseur de la couche d est déterminée par la position des extremums d'interférences par la relation

(7)

p étant l'ordre d'interférence associé à la longueur d'onde X qui correspond à un extremum pour les spectres de transmission ou de réflexion. En effet, pour la réflexion, les maxima correspondent à des valeurs impaires de p alors que les minima correspondent à des valeurs pairs, inversement pour la transmission.

A faible dispersion (dn/dë 0) et pour deux extremums d'interférences successifs et d'après (7), on a :

(8)

Avec etles longueurs d'ondes correspondantes à deux extremums successifs. D'où, on peut déduire de (8) que :

ENIT 2009 63

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