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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

Ces deux demi-cercles à basse et haute fréquence correspondent respectivement aux phénomènes qui se produisent aux joints de grains et aux phénomènes intragranulaires. Les résistances sont déterminées à l'aide des intersections des demi-cercles avec l'axe des abscisses comme montré sur la figure 3.23 (b) et les capacités à l'aide du maximum d'amplitude de Tm Z (aux fréquences f01 et f02) atteint pour ù0RC=1. Les capacités C1 et C2, qui rendent compte des défauts de structure, sont inversement proportionnelles à l'épaisseur des grains et des joints de grains.

Fig. 3. 23 Circuit équivalent du modèle des briques (a) et sa représentation de Nyquist (b)

Cette technique permet donc de séparer et de déterminer les résistances et capacités équivalentes des diverses contributions du matériau. Tl suffit que les fréquences de relaxation de chacun de ces circuits soient suffisamment différentes pour obtenir un ou plusieurs demi-cercles correspondant à chacune des contributions.

Les valeurs des résistances R1 et R2 déterminées par spectroscopie d'impédance dépendent de plusieurs facteurs tels que la composition chimique, le volume et la structure respective des grains et de leurs joints. Ainsi, une résistance R2 élevée peut être la conséquence de plusieurs facteurs:

? Un réarrangement cationique [105] ou une amorphisation au niveau des zones intergranulaires,

? Un volume total de joints important. Par ailleurs, lorsque la taille des grains est très petite, on note aussi l'apparition d'un phénomène de dispersion des charges au niveau des joints, qui contribue à augmenter R2.

? Les défauts de structure tels que les lacunes, les dislocations [106] et les pores dont la présence est fréquente au niveau des joints.

Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

Mais il existe des limites au modèle des cellules élémentaires puisque dans un matériau polycristallin quelconque la forme des grains n'est pas cubique, les joints n'ont pas tous des comportements électriques équivalents et il peut exister des contacts de section variable entre des grains voisins. Dans ce dernier cas, R2 dépend à la fois de la section et du nombre de contacts entre les grains [107]. L'étude du comportement électrique des joints devra donc être complétée par des analyses en microscopie et il faudra tenir compte de ces paramètres dans l'interprétation du diagramme de Nyquist.

Pour les composés dont les grains sont très conducteurs, on néglige généralement l'effet capacitif et le déplacement des porteurs de charge à l'intérieur des grains est considéré comme purement résistif. Le modèle adopté est alors plus simple (fig. 3.24 (a)) et l'équation d'un tel système devient :

??(??) = ??1 +

(19)

1+ ??2??2 2??22 - ?? 1+ ??2??1 2??12

??2 ????2 2??2

??(0) = ??1 + ??2 ???? lim ??(??) = ??1 (20)

???8

En représentation cartésienne dans le plan complexe, cette expression correspond à un demi-cercle de diamètre R2 centré sur l'axe des réels à (R1+R /2) (fig. 3.24(b)).

ENIT 2009 75

Fig. 3. 24 Circuit équivalent du modèle simplifié (a) et sa représentation de Nyquist (b).

Le comportement électrique de différentes couches a été étudié par spectroscopie d'impédance. Suivant la compacité du matériau, la précision de l'appareil de mesure, la taille des grains et la conductivité des oxydes, le comportement électrique des grains et des joints correspond au modèle présenté par la figure 3.23 (a) ou la figure 3.24 (a). Dans tous les cas, l'application du modèle des cellules élémentaires aux oxydes est cohérente.

En tenant compte de la réponse de l'interface électrode-matériau, chacun des phénomènes se produisant dans les grains, joints de grains et électrodes se modélise par un circuit RC parallèle

ENIT 2009 76

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