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Etude du dopage des couches minces de ZnO élaborées par spray ultrasonique

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par Abdelkader HAFDALLAH
Université Mentouri Constantine - Magister 2007
  

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IV.3.2.Etude des contraintes :

D'une manière générale, la température de dépôt et la présence des impuretés sont des moyens très efficaces pour réduire les contraintes internes des matériaux élaborés sous forme de couches minces. Les contraintes dans les films ZnO ont été estimées à partir de l'exploitation du décalage de la position du pic (002) des spectres de diffraction X par rapport à 34°. Les valeurs des contraintes trouvées dans nos couches sont situées entre 0.109 GPa et 0.125 GPa. La présence des contraintes extensives est probablement due à l'insertion d'atomes étrangers dans le réseau cristallin (les atomes des dopants en position interstitielle....).

L'augmentation de la cristallinité et de la taille des grains dans une couche mince de ZnO est à l'origine de la diminution des contraintes.

IV.4. Propriétés Optiques :

Les caractérisations optiques ont été basées sur la spectroscopie de transmission dans l'UV-Visible. En effet, comme il a été détaillé dans le chapitre précédent, l'exploitation des spectres nous permet de calculer le gap optique. Sur les figures IV.6, IV.7 et IV.8 sont regroupés les spectres de transmission, dans la gamme de 200 à 800 nm, des films élaborés avec les différents dopants : Al(NO3)3, Al2(SO4)3, et InCl3 respectivement. De plus, chaque figure représente des pourcentages de dopage différents. Bien que l'allure générale des spectres soit identique, ceux-ci sont composés de deux régions:

Une région de forte transparence située entre 400 et 800nm, la valeur de la transmission est de l'ordre de 75 à 85%. Cette valeur, rapportée par plusieurs auteurs [67], confère aux couches minces de ZnO, dopé et non dopé, le caractère de transparence dans le visible. Dans cette gamme de longueur d'onde, on observe des franges d'interférences dans le cas des films élaborés avec une température de substrat fixe (350 °C). Ces franges, caractérisées par les ondulations des courbes, sont dues à la réflexion multiple du rayonnement sur les deux interfaces du film. Ce résultat indique que les films préparés avec ces conditions sont homogènes et

de surfaces lisses. Ceci confirme que les températures de dépôt optimales permettant d'obtenir des films ZnO transparents, uniformes et stoechiométriques se situent au voisinage de 350°C. Notons que le choix de cette température de substrat optimum est basé sur les travaux antérieurs réalisés au sein de notre équipe par Baghriche [Magister]

Une région de forte absorption. Cette région correspond à l'absorption fondamentale (ë<400nm) dans les films de ZnO dopés et non dopés. Cette absorption est due à la transition électronique inter bande. La variation de la transmission dans cette région est exploitée pour la détermination du gap. D'autre part, on observe, avec l'augmentation de pourcentage de dopage, un décalage du seuil d'absorption vers les grandes énergies. Ce décalage est dû à l'accroissement de la concentration des porteurs libres dans le matériau [9]. Le décalage dans le seuil d'absorption est aussi égalà la variation du gap ÄEg qui est exprimé par la relation suivante [72] :

2

2

3

h

*

(3 )

n ?

8

AEg =

m

où h, m* et n sont respectivement la constante de Planck, la masse effective des porteurs et la concentration des électrons libres.

Cette relation montre que la variation du gap est, principalement, causée par la concentration des électrons libres. Par conséquent, les films préparés avec une température de substrat de 350 °C et différents pourcentages de dopage contiennent une concentration élevée d'électronslibres [59] ce qui est, comme il sera montré dans la suite de ce chapitre, en parfait accord avec la variation de leur gap optique et leur conductivité électriques.

100

80

Transmittance (%)

60

40

20

ZnO non dope

ZnO dope 2% Al(NO3)3 ZnO dope 4% Al(NO3)3 ZnO dope 6% Al(NO3)3 ZnO dope 8% Al(NO3)3

0

300 400 500 600 700 800

Longueur d'onde (nm)

Figure IV.6 : Variation de la transmittance des films de ZnO dopés avec Al (NO3)3
en fonction de la longueur d'onde.

100

80

Transmittance (%)

60

40

20

ZnO non dope

ZnO dope 2% Al(SO4)3 ZnO dope 4% Al(SO4)3 ZnO dope 6% Al(SO4)3 ZnO dope 8% Al(SO4)3 ZnO dope 10% Al(SO4)3

0

300 400 500 600 700 800

Longueur d'onde (nm)

Figure IV.7 : Variation de la transmittance des films de ZnO dopés avec Al2(SO4)3
en fonction de la longueur d'onde.

300 400 500 600 700 800

Transmittance (%)

40

60

20

0

ZnO non dope ZnO dope 2% In ZnO dope 4% In ZnO dope 6% In ZnO dope 8% In

Longueur d'onde (nm)

Figure IV.8 : Variation de la transmittance des films de ZnO dopés avec In Cl3
en fonction de la longueur d'onde.

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