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Etude du dopage des couches minces de ZnO élaborées par spray ultrasonique

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par Abdelkader HAFDALLAH
Université Mentouri Constantine - Magister 2007
  

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IV.4.3. Désordre (Energie d'urbach):

Le spray ultrasonique est une méthode de dépôt dans laquelle la croissance du film se fait par condensation pyrolytique. Dans cette situation, les atomes arrivant sur le substrat peuvent se coller au point de leur atterrissage. Par conséquent, les atomes dans le réseau du film ne sont pas généralement dans une position idéale, d'où l'apparition des écarts dans la largeur de la liaison Zn-O, Dans ce cas, les bords de bande décrits dans le cas de réseaux cristallins et délimités par Ev et Ec peuvent disparaître. On observe ce que l'on appelle des états localisés formés en queues de bande aux frontières de la bande interdite dans la bande de valence et de conduction. Pour des énergies supérieures à Ec et inférieure à Ev, se trouvent les états étendus (figure IV.9), cet écart est connus sous le noms de désordre. Lorsque le désordre devient trop important (par exemple avec l'apparition de liaisons pendantes ou d'impuretés dans le matériau), les queues peuvent s'empiéter. Nous définirons alors la notion de paramètre d'Urbach ( E00 ) qui correspond à des

transitions entre les états étendus de la bande de valence et les états localisés de la bande de conduction.

Figure IV.9 : Fonction de distribution des états d'énergie dans les bandes [22].

Il est possible de déduire le désordre à partir de la variation des coefficients d'absorption. Le coefficient d'absorption est lié au désordre par la loi a= a0 . exp(hv E00), E00 étant la largeur

de la queue de bande qui caractère le désordre. De même, nos valeurs de l'énergie d'Urbach sont
comparables à celles trouvées par d'autres auteurs (0,1-0,6 eV). Bougrine et al. [23] ont
interprété l'énergie d'Urbach E00 comme étant la largeur des bandes des états localisés dans la

bande interdite. L'étude menée par [24] a montré qu'il y'a une augmentation de E00 avec le

pourcentage de dopage. Song et al. [25] proposent, comme interprétation à cette variation, les niveaux donneurs des atomes interstitiels de zinc.

Par ailleurs, nous avons calculé la largeur de queue E00 dans les films dopés. Les résultats

obtenus sont représentés sur la figure IV.10. Comme on peut le voir, le traitement est accompagné successivement, pour les films déposés à l'ambiante, par une augmentation et une réduction du désordre, cette dernière indiquant une meilleure réorganisation des ces films. Il faut noter que, durant la croissance du film, la température du substrat influe sur la mobilité des atomes arrivant en surface. Si la température du substrat est élevée; les atomes arrivant en surface ont suffisamment d'énergie pour se déplacer sur celui ci et trouver un site favorable. A température élevée, il en résulte une meilleure organisation du film. Cela explique les valeurs élevées de E00 déterminées dans les films élaborés à l'ambiante. Comme il est montré sur cette

même figure, l'augmentation du désordre apparaît dès l'introduction des dopants (0 à 8%) dans le réseau du ZnO. Comme celui ci a une faible taille (a=2.6650 Å et c=4.9470 Å), l'oxygène provoque sa distorsion et c'est cette dernière qui est à l'origine de son augmentation. Au delà de 300°C, le film adopte une structure hexagonale avec de plus larges cellules (a=3,2499 Å et c=

5,2060 Å) ce qui favorise, sans distorsion, l'introduction de l'oxygène sans création de désordre dans le film.

0 2 4 6 8 10

Desordre E. (meV)

400

800

600

200

700

500

300

ZnO dopé avec Al2(SO4)3 ZnO dopé avec Al(NO3)3 ZnO dopé avec In Cl3

Dopage (% wt)

Figure .IV.10 : Variation de désordre en fonction de pourcentage du dopage pour les trois
sources de dopage (
?:Al(NO3)3, :Al2(SO4)3, ? :InCl3).

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